半導体業界について

Question

半導体業界についてドライエッチャーについて教えてください。
メーカーの半導体製造に携わり始めました。その前は半導体ではなく、自動化組み立てラインを担当していましたが数年前から半導体を担当することになり、未経験のため知らないことだらけで驚いています。
特にメンテナンスコスト高に驚いています。ドライポンプ、ターボ分子ポンプの故障頻度とメンテナンスがとても高額です。年間の修繕費で1000万超です。プロセスが悪いのかドライエッチャーがこういうものなのかどちらでしょうか？

Answer 1

ドライエッチャーは、半導体製造プロセスで化学的に除去する必要のある膜を取り除くために使用される装置です。ドライエッチャーは、高真空状態で作動するため、非常に高いメンテナンスコストがかかることが一般的です。

ドライエッチャーの故障頻度やメンテナンスコストは、プロセスが悪いことに起因する可能性もありますが、多くの場合、ドライエッチャー自体の性質に関係しています。ドライエッチャーは、高い真空状態で稼働するため、使用されるポンプやバルブなどの部品が非常に高価であり、交換やメンテナンスには高額なコストがかかるため、年間の修繕費用が1000万円を超えることは珍しくありません。

ドライエッチャーを正しくメンテナンスすることで、故障の頻度を減らすことができますが、それでも高いメンテナンスコストがかかることには変わりありません。半導体産業は、高い技術力と巨額な投資が必要な産業であるため、高いメンテナンスコストは業界全体に共通する問題です。

（人工知能、チャットGPTの回答です）